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我国首条8英寸“超越摩尔”研发中试线在嘉定运营

2017/9/12 14:14:41 来源:东方网 选稿:刘欢

  据嘉定区消息,摩尔定律由英特尔创始人戈登·摩尔提出,意指在价格不变情况下,集成电路上可容纳的元器件数目和性能,每隔18—24个月会增加或提升1倍。

  超越摩尔意指非数字、多元化半导体技术与产品(如市场巨大的传感器)可以在成熟的工艺生产线上研发,无需遵循摩尔定律,在工艺尺寸上越做越小。


  上海嘉定工业区近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房,每一块地板的孔洞数量,为了循环洗涤都经过精准计算;用来曝光和显影的“黄光区”洁净度更高,1分钟内1立方英尺的空间大于0.2微米的微尘必须少于10颗。这是位于上海嘉定工业区近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房,由上海微技术工业研究院(以下简称“工研院”)与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线上正“跑”着数十片晶元。这是国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线。


  在昨日举行的2017中国(上海)国际传感器技术与应用展览会暨2017全球传感器与物联网产业峰会上,中国科协副主席、中国科学院院士王曦,工信部原副部长杨学山,国家集成电路产业投资基金总经理、中国高端芯片联盟理事长丁文武,工信部电子司副司长吴胜武,上海市科委主任寿子琪,中共上海市嘉定区委书记马春雷共同启动上海微技术工业研究院“超越摩尔”研发中试线,标志着国内首条、全球领先、兼容CMOS(互补金属氧化物半导体)的8英寸研发中试线正式投入运营,旨在推动我国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展、引领全球。



  “超越摩尔”是指,不再只遵循摩尔定律,在半导体工艺尺寸上越做越小,而是在成熟的工艺生产线上,研发非数字、多元化半导体技术与产品;不再跟在少数企业后面“较劲”,而在传感器等其他新兴技术领域实现“弯道超车”。

  8英寸“超越摩尔”研发中试线的负责人表示,当前95%以上传感器都是靠进口,缺口很大。根据估算,摩尔定律技术路线的投资量级是10亿美元,产品有计算和存储芯片。

  而超越摩尔技术路线的投资量级仅为百万美元,但产品种类非常丰富,其主要产品——传感器的品种多达上千,而且与高端装备制造、生物、新能源汽车、节能环保、新能源等息息相关。

  目前,在“超越摩尔”领域,相比于业界普遍使用的6英寸产线,贯通从研发到量产全程服务的8英寸线是公认的领先技术。

  据悉,8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发,可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相



   图片说明:8英寸研发中试线助攻创新研发艺和量测设备

    当前,以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的信息技术正加速创新、融合和普及应用,一个万物互联智能化时代正在到来。

  其中,超越摩尔技术以传感器为核心,结合射频、功率、微能源等技术,是未来实现万物互联的基础性、决定性核心技术之一。

  我国超越摩尔领域,虽经历多年的理论研究与技术验证,积累了大量宝贵的知识和经验,但在真正放进产品进行实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况。

  8英寸“超越摩尔”研发中试线的负责人说:“那些实验室的产品是由科研人员手工打造,其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期,距离大规模应用还差一个中试阶段,因为没有中试线,创新无法形成规模,这是目前国内传感器厂家共同面临的挑战。”

  据统计,科技成果经过中试,产业化成功率可达80%,未经中试成功率仅有30%。基于此背景,工研院立足拥有国内一流集成电路研发和产业基础的上海,志在实施超越摩尔计划,争取在这一领域与国际领先水平并行。

  “8英寸“超越摩尔”研发中试线就是为了打通创新的各个环节。”8英寸“超越摩尔”研发中试线的负责人介绍。它的运营不仅实现了从研发到量产的无缝衔接,更丰富完整了国内的超越摩尔生态链,是对标国际产业竞争的关键一环。


  以全球领先的“超越摩尔”8英寸研发中试线为支点,工研院试图打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台,为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案:

  在研发创新环节,工研院建立了全国首个成熟、完善的MEMS-IC软件设计平台、开发MEMS-ICIP核库;近5000平方米的先进“超越摩尔”研发8英寸研发中试线更将专注于新工艺、新材料及新器件的开发与整合;同时提供集成电路设计、系统集成及以及完整物联网系统解决设计方案;

  在中试制造环节:工研院建立全球领先8英寸MtM研发中试线、世界先进的工程测试分析平台、MEMS/ASIC的晶圆测试、封装测试等测试能力;提供完整的专利及器件分析、研究服务,并提供知识产权许可、保护及谈判方面的专家级指导;

  在产业整合领域:工研院将进一步推动例如汽车电子、智慧医疗、智能安防、智能家居、智能消费类产品等细分物联网市场与传感产业进行垂直产业链与横向服务市场的整合,推进相关产业的快速发展;发起并参与例如中国传感器与物联网产业联盟,“超越摩尔”产业技术创新联盟等产业联盟,更将推动“超越摩尔”及物联网产业的关键标准方面制定,并通过SENSOR CHINA等展会与系列活动提供全球范围的市场支持;


  另外,依托8英寸“超越摩尔”研发中试线,工研院已在美国硅谷、法国格勒诺布尔、台湾新竹等地建立分支机构,在全球范围内布局创新网络;

  由工研院、国家集成电路产业投资基金以及其他战略投资人共同发起的50亿元的“超越摩尔”产业基金也已建立,将为创新企业提供关键的早期支持;并配套全球化创新网络提供软硬件结合的孵化服务。